| 装置画像 |  |
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| 装置名 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 |
| 装置概要 | 試料表面を高分解能で観察できる走査電子顕微鏡です。 |
| メーカー | 日立ハイテク |
| 型式 | SU9000 |
| 仕様 | "電子銃: 冷陰極電界放出形 加速電圧: 0.5 ～ 30 kV 対物レンズ: インレンズ 2次電子像分解能の目安: 0.4 nm 最大試料サイズ: 9.5 mm x 5.0 mm x 3.5 mm（表面観察） 6.0 mm x 5.0mm x 2.0 mm（断面観察） 試料移動: X: ±4.0 mm，Y: ±2.0 mm，Z: ±0.3 mm 傾斜: 最大±40度（試料高さに依存。） 回転: 不可 エネルギー分散X線検出器（EDX）: 付属 その他特徴: 明視野/環状暗視野 走査透過電子顕微鏡（BF/ADF-STEM）像取得可能" |
| 部屋番号 | E108 |
| 内線番号 | 6161 |
| 担当者連絡先 |
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| リンク | |
| 備考 | テスト |
